超並列電子ビーム描画装置の開発

Book2018-06-05 (火) - 発売中

超並列電子ビーム描画装置の開発

江刺 正喜 / 宮口 裕 / 小島 明 / 池上 尚克 / 越田 信義 / 菅田 正徳 / 大井 英之

￥3,000.

2023年10月30日 04時10分 JST時点 - 詳細はこちら

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  • 新刊発見日: 2018年05月03日
  • 東北大学出版会
  • EAN: 9784861632969
  • Book 単行本
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